Línea de Investigación: Microelectrónica
Introducción
Es la Línea más antigua de la Coordinación y cuenta con el Laboratorio de Microelectrónica, con las facilidades y equipos necesarios para la manufactura de circuitos integrados y dispositivos semiconductores a partir de obleas de silicio por medio de un proceso de fabricación CMOS.
En 2010 fue inaugurado el Laboratorio de Innovación MEMS (LIMEMS), laboratorio dedicado a la fabricación de prototipos de Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (MEMS). Una característica que distingue a este laboratorio, es el uso de materiales nanoestructurados compatibles con la tecnología CMOS en la fabricación de sensores y dispositivos Micro-Electro-Mecánicos. El LIMEMS completa la infraestructura de fabricación y de investigación de este grupo.
Investigadores de la Línea
La Línea de Microelectrónica cuenta actualmente con 16 investigadores
González Fernández, Alfredo Abelardo
Gutiérrez Domínguez, Edmundo Antonio
Líneas de Investigación
La Línea de Microelectrónica está altamente consolidada. En ella se desarrollan varias líneas de investigación, al mismo tiempo que se incursiona en áreas emergentes del campo. A continuación, se listan y describen brevemente algunas de las actividades de investigación:
Fabricación y Caracterización de Sensores con Base en Silicio. Los dispositivos son diseñados para ser compatibles con el proceso de fabricación de circuitos integrados CMOS; la tendencia es desarrollar una tecnología nacional de fabricación de sistemas integrados.
Materiales Nanoestructurados. La incorporación de materiales nanoestructurados compatibles con la tecnología del silicio tiene un gran impacto en la actualidad. Para la obtención de estos nuevos materiales se usa el método de depósito químico en la fase de vapor asistido por plasma a bajas frecuencias.
MEMS. Se realizan diseños de este tipo de dispositivos para diversas aplicaciones. Se cuenta con un Centro de Diseño de MEMS donde se llevan a cabo tareas de diseño asistido por computadora para su posterior fabricación.
Crioelectrónica. Se realiza investigación sobre los efectos que la baja temperatura tiene sobre los mecanismos de conducción en dispositivos semiconductores, tendientes a la mejora de los modelos existentes.
Dispositivos optoelectrónicos. Se realiza la caracterización de las propiedades ópticas de los materiales y dispositivos semiconductores, compatibles con la tecnología de silicio, para su integración al proceso de fabricación CMOS. Un objetivo de esta área en particular es el desarrollar óptica integrada y sistemas optoelectrónicos monolíticos en la tecnología del silicio.
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